MFC - Digital gesteuerter Massendurchflussregler für Gas, Mass Flow Controller - Neu / unbenutzt
MFC - Digital gesteuerter Gas Massendurchflussregler, Mass Flow Controller
elastomer-gedichteter Massendurchflussregler, Flussregelung, Durchflussmesser, Durchflussregler
MKS Typ GE50AGE50A008404M9V020
Ser. Nr. 022328497
STD Model Nr.
STD Ser. Nr.
Baujahr 2019 (Neu / unbenutzt in Originalverpackung)
Netzanschluss +24VDC (Stecker M8, 5 Pin, männlich)
Leistungsaufnahme <3 Watt
Schnittstelle PROFINET IO Typ 9 -/100 Mbps (3x RJ-45)
Optische Anzeige 4 LEDs (Maint (amber), BUS Fault (red), Ready (green), Sys Fault (red)
Gasanschluss 6 mm Swagelok
Dichtungsmaterial Viton
Ventilausführung Öffner (Normally Closed)
Benutzergas Air (Luft)
Kalibriergas N2 (Stickstoff)
Flussregelbereiche (Voll-Skala) 40000 sccm (40 Liter / Minute)
Maximaler Eingangsdruck 150 psig (10 Bar)
Normaler Betrieb Druckdifferenzial 10 bis 5000 sccm; 10 bis 40 psid
Normaler Betrieb Druckdifferenzial 10000 bis 20000 sccm; 15 bis 40 psid
Prüfdruck 1000 psig
Berstdruck 1500 psig
Steuerbereich 2 % bis 100 % der vollen Skala (Bereich des Mechanismus)
Typische Genauigkeit ± 1 % des Sollwerts für 20 bis 100 % der vollen Skala
Typische Genauigkeit mit N2 Kalibriergas ± 0,2 % der vollen Skala für 2 bis 20 % der vollen Skala
Wiederholgenauigkeit ± 0,3 % des Messwerts
Auflösung 0,1 % der vollen Skala
Typische Einstellzeit des Controllers <750 msec, typical above 5% Full Scale (gemäß SEMI Richtlinie E-17-0600)
Aufwärmzeit <30 Minuten
Betriebstemperaturbereich 10° C bis 50° C (Umgebung)
Lagerfeuchtigkeit 0 bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend
Lagertemperatur -20° bis 80°C (-4° bis 149° F)
Leckintegrität - Extern <1 x 10-9 (scc/s He)
Leckintegrität - durch geschlossenes Ventil < 1,0 % von FS bei 40 psig bis Atmosphäre
- Patentiertes thermisches Sensor-Design für außergewöhnliche Null-Stabilität
- Prozentgenaue Sollwertregelung ermöglicht eine präzise Prozesskontrolle
- Eingebettete Benutzeroberfläche - Ändern Sie einfach den Regelbereich und Gas, überwachen Sie und messen Sie die Leistung
- Konfiguration/Diagnose über Ethernet & Webbrowser - keine spezielle Software erforderlich
Abmessung B x H x T 37 x 125 x 145 mm
Gewicht 1,4 kg
Neu / unbenutzt in Originalverpackung
elastomer-gedichteter Massendurchflussregler, Flussregelung, Durchflussmesser, Durchflussregler
MKS Typ GE50AGE50A008404M9V020
Ser. Nr. 022328497
STD Model Nr.
STD Ser. Nr.
Baujahr 2019 (Neu / unbenutzt in Originalverpackung)
Netzanschluss +24VDC (Stecker M8, 5 Pin, männlich)
Leistungsaufnahme <3 Watt
Schnittstelle PROFINET IO Typ 9 -/100 Mbps (3x RJ-45)
Optische Anzeige 4 LEDs (Maint (amber), BUS Fault (red), Ready (green), Sys Fault (red)
Gasanschluss 6 mm Swagelok
Dichtungsmaterial Viton
Ventilausführung Öffner (Normally Closed)
Benutzergas Air (Luft)
Kalibriergas N2 (Stickstoff)
Flussregelbereiche (Voll-Skala) 40000 sccm (40 Liter / Minute)
Maximaler Eingangsdruck 150 psig (10 Bar)
Normaler Betrieb Druckdifferenzial 10 bis 5000 sccm; 10 bis 40 psid
Normaler Betrieb Druckdifferenzial 10000 bis 20000 sccm; 15 bis 40 psid
Prüfdruck 1000 psig
Berstdruck 1500 psig
Steuerbereich 2 % bis 100 % der vollen Skala (Bereich des Mechanismus)
Typische Genauigkeit ± 1 % des Sollwerts für 20 bis 100 % der vollen Skala
Typische Genauigkeit mit N2 Kalibriergas ± 0,2 % der vollen Skala für 2 bis 20 % der vollen Skala
Wiederholgenauigkeit ± 0,3 % des Messwerts
Auflösung 0,1 % der vollen Skala
Typische Einstellzeit des Controllers <750 msec, typical above 5% Full Scale (gemäß SEMI Richtlinie E-17-0600)
Aufwärmzeit <30 Minuten
Betriebstemperaturbereich 10° C bis 50° C (Umgebung)
Lagerfeuchtigkeit 0 bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend
Lagertemperatur -20° bis 80°C (-4° bis 149° F)
Leckintegrität - Extern <1 x 10-9 (scc/s He)
Leckintegrität - durch geschlossenes Ventil < 1,0 % von FS bei 40 psig bis Atmosphäre
- Patentiertes thermisches Sensor-Design für außergewöhnliche Null-Stabilität
- Prozentgenaue Sollwertregelung ermöglicht eine präzise Prozesskontrolle
- Eingebettete Benutzeroberfläche - Ändern Sie einfach den Regelbereich und Gas, überwachen Sie und messen Sie die Leistung
- Konfiguration/Diagnose über Ethernet & Webbrowser - keine spezielle Software erforderlich
Abmessung B x H x T 37 x 125 x 145 mm
Gewicht 1,4 kg
Neu / unbenutzt in Originalverpackung