MFC Digital gesteuerter Massendurchflussregler für Gas, MassFlowController - Neu / unbenutzt
MFC - Digital gesteuerter Gas Massendurchflussregler, Mass Flow Controller
elastomer-gedichteter Massendurchflussregler, Flussregelung, Durchflussmesser, Durchflussregler, Ventil
MKS Typ GE250A-34328
Ser. Nr. 022584169
STD Model Nr. GE250A013255T6V3020
STD Ser. Nr. 022135387
Baujahr 2019 (Neu / unbenutzt in Originalverpackung)
Netzanschluss +24VDC (Stecker M8, 5 Pin, männlich)
Leistungsaufnahme <4 Watt
Schnittstelle PROFINET IO Typ 9 / 100 Mbps (3x RJ-45)
Optische Anzeige 4 LEDs (Maint (amber), BUS Fault (red), Ready (green), Sys Fault (red)
Gasanschluss 8 VCR Stecker (T)
Ventilausführung Öffner (Normally Closed)
Benutzergas N2 (Stickstoff)
Kalibriergas N2 (Stickstoff)
Flussregelbereiche (Voll-Skala) 200 slm (200 Liter / Minute)
Maximaler Eingangsdruck 150 psig (10 Bar)
Normaler Betrieb Druckdifferenzial 30 bis 55 psid (abhängig vom Typ der Anschlüsse) (bei Atmosphärendruck am MFC-Ausgang)
Prüfdruck 1000 psig
Berstdruck 1500 psig
Steuerbereich 2 % bis 100 % der vollen Skala (Bereich des Mechanismus)
Typische Genauigkeit 20 bis 100 % ± 1 % des Sollwerts für 20 bis 100 % der vollen Skala
Typische Genauigkeit 2 bis 20 % ± 0,25 % der vollen Skala für 2 bis 20 % der vollen Skala
Wiederholgenauigkeit ± 0,5 % des Messwerts
Auflösung 0,1 % der vollen Skala
Typische Einstellzeit des Controllers 1 bis 2 Sekunden, typischerweise bei über 10 % der vollen Skala @ 50 psi
Aufwärmzeit eine (1) Stunde
Betriebstemperaturbereich 10° C bis 50° C (Umgebung)
Lagerfeuchtigkeit 0 bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend
Lagertemperatur -20° bis 65°C
Leckintegrität - Extern <1 x 10-9 (scc/s He)
Leckintegrität - durch geschlossenes Ventil <1.0% Full Scale at 40 psia to vac (<500 mTorr) (Um Durchfluss vollständig zu unterdrücken, ist ein separates, positives Absperrventil erforderlich.)
- Patentiertes thermisches Sensor-Design für außergewöhnliche Null-Stabilität
- Prozentgenaue Sollwertregelung ermöglicht eine präzise Prozesskontrolle
- Eingebettete Benutzeroberfläche - Ändern Sie einfach den Regelbereich und Gas, überwachen Sie und messen Sie die Leistung
- Konfiguration/Diagnose über Ethernet & Webbrowser - keine spezielle Software erforderlich
Abmessung B x H x T 50 x 195 x 170 mm
Gewicht 2,5 kg
Neu / unbenutzt in Originalverpackung
elastomer-gedichteter Massendurchflussregler, Flussregelung, Durchflussmesser, Durchflussregler, Ventil
MKS Typ GE250A-34328
Ser. Nr. 022584169
STD Model Nr. GE250A013255T6V3020
STD Ser. Nr. 022135387
Baujahr 2019 (Neu / unbenutzt in Originalverpackung)
Netzanschluss +24VDC (Stecker M8, 5 Pin, männlich)
Leistungsaufnahme <4 Watt
Schnittstelle PROFINET IO Typ 9 / 100 Mbps (3x RJ-45)
Optische Anzeige 4 LEDs (Maint (amber), BUS Fault (red), Ready (green), Sys Fault (red)
Gasanschluss 8 VCR Stecker (T)
Ventilausführung Öffner (Normally Closed)
Benutzergas N2 (Stickstoff)
Kalibriergas N2 (Stickstoff)
Flussregelbereiche (Voll-Skala) 200 slm (200 Liter / Minute)
Maximaler Eingangsdruck 150 psig (10 Bar)
Normaler Betrieb Druckdifferenzial 30 bis 55 psid (abhängig vom Typ der Anschlüsse) (bei Atmosphärendruck am MFC-Ausgang)
Prüfdruck 1000 psig
Berstdruck 1500 psig
Steuerbereich 2 % bis 100 % der vollen Skala (Bereich des Mechanismus)
Typische Genauigkeit 20 bis 100 % ± 1 % des Sollwerts für 20 bis 100 % der vollen Skala
Typische Genauigkeit 2 bis 20 % ± 0,25 % der vollen Skala für 2 bis 20 % der vollen Skala
Wiederholgenauigkeit ± 0,5 % des Messwerts
Auflösung 0,1 % der vollen Skala
Typische Einstellzeit des Controllers 1 bis 2 Sekunden, typischerweise bei über 10 % der vollen Skala @ 50 psi
Aufwärmzeit eine (1) Stunde
Betriebstemperaturbereich 10° C bis 50° C (Umgebung)
Lagerfeuchtigkeit 0 bis 95 % relative Luftfeuchtigkeit, nicht kondensierend
Lagertemperatur -20° bis 65°C
Leckintegrität - Extern <1 x 10-9 (scc/s He)
Leckintegrität - durch geschlossenes Ventil <1.0% Full Scale at 40 psia to vac (<500 mTorr) (Um Durchfluss vollständig zu unterdrücken, ist ein separates, positives Absperrventil erforderlich.)
- Patentiertes thermisches Sensor-Design für außergewöhnliche Null-Stabilität
- Prozentgenaue Sollwertregelung ermöglicht eine präzise Prozesskontrolle
- Eingebettete Benutzeroberfläche - Ändern Sie einfach den Regelbereich und Gas, überwachen Sie und messen Sie die Leistung
- Konfiguration/Diagnose über Ethernet & Webbrowser - keine spezielle Software erforderlich
Abmessung B x H x T 50 x 195 x 170 mm
Gewicht 2,5 kg
Neu / unbenutzt in Originalverpackung